规格参数
| 型号 | 桌面型 | 落地型 | |
| FJUGN系列 | FJUHDN系列 | ||
| 用途 | 用于硅晶圆、玻璃、陶瓷等产品切割后的解胶工序,UV蓝膜解胶 | ||
| 物料规格 | 可支持6"~12"Frame | ||
| UV单元 | 1套LED-UV模组 | ||
| UV波长 | 365nm±5nm | ||
| UV照射强度#注 | 50~500mW/cm²,照射强度实时监测,可程序调节 | ||
| 显示/设定/操作 | 触摸屏的显示 / 设定 / 操作 | ||
| 照射模式 | 自动照射 | 设定照射功率、照射时长,按设定的时长完成照射【照射时长范围:0 - 9999.9秒(间隔时间0.1秒)】 | |
| 阶梯照射 | 设定多个阶梯,循环次数;设定每个阶梯的照射功率和照射时长,按设定的循环次数,阶梯参数工作 | ||
| 调光/照射控制 | 精准数字调光、定时器控制【0 - 9999.9秒(间隔时间0.1秒)】 | ||
| LED温度检测 | 装载热敏电阻,监控LED灯珠温度 | ||
| LED光源异常反馈 | LED光源故障反馈,亮光反馈,超温报错 | ||
| LED光源冷却方式 | 风扇的强制空冷 | 智能冷却系统的水冷 | |
| 上料/下料 | 手动 | ||
| 气体 | 氮气 | ||
| 氧气监控 | 设备可监控仓内氧气浓度,界面可显示出氧气含量数据 | ||
| 氮气保护 | 1) 有氮气保护罩,用于氮气保护,流量可调节 | ||
| 照射方式 | 面阵式 | 扫描式 | |
| 扫描速度 | \ | 0~100mm/s,程序可设定 | |
| 输入电压/频率 | AC 220V 50Hz / 60Hz | ||
| #注: 根据我司测量基准,数值为代表值,不是保证值。 | |||